溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數(shù)量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數(shù)量4(可增加)
探針材質(zhì)紫銅鍍金
測試通道4
載樣臺材質(zhì)及尺寸銀質(zhì),35*35mm(以實際尺寸為準(zhǔn))
冷熱臺尺寸160*150*29mm(以實際尺寸為準(zhǔn))
實驗環(huán)境可抽真空,可充入保護(hù)氣氛(氮氣),配水冷接口
高低溫真空探針臺是一種用于材料物性研究和半導(dǎo)體器件測試的實驗設(shè)備。它能夠在真空環(huán)境中對樣品進(jìn)行高溫或低溫測試,以便研究材料的電氣、熱學(xué)和光學(xué)特性。以下是高低溫真空探針臺的一些關(guān)鍵特性和應(yīng)用:
### 關(guān)鍵特性
1. **溫度范圍**:通常能實現(xiàn)-196°C(液氮溫度)到幾百攝氏度的溫度調(diào)節(jié),以適應(yīng)不同材料和器件的測試需求。
2. **真空環(huán)境**:通過真空腔體,減少氧化和污染,確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性。
3. **高靈敏度探針**:配備高靈敏度的微型探針,可以測量樣品的電流、電壓等參數(shù)。
4. **自動化控制**:許多探針臺配備的控制系統(tǒng),能夠調(diào)節(jié)溫度和真空度,并進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和分析。
### 應(yīng)用領(lǐng)域
1. **半導(dǎo)體行業(yè)**:廣泛用于半導(dǎo)體材料的電學(xué)特性測試,如霍爾效應(yīng)測量、導(dǎo)電性測試等。
2. **材料科學(xué)**:用于新材料的開發(fā)和測試,尤其是在極端溫度條件下的性能研究。
3. **物理實驗**:在基礎(chǔ)物理研究中,探針臺常用于研究量子效應(yīng)和低溫物理現(xiàn)象。
4. **納米技術(shù)**:在納米材料和器件的表征中,能夠提供高分辨率和高精度的數(shù)據(jù)。
高低溫真空探針臺是現(xiàn)代材料科學(xué)與工程研究中的重要工具,為科學(xué)家和工程師提供了深入理解材料性能的手段。
探針臺卡盤(Probing Station Chuck)在半導(dǎo)體測試和研究中具有重要功能。它的主要功能包括:
1. **樣品固定**:探針臺卡盤能夠穩(wěn)固地固定待測試的半導(dǎo)體芯片或其他樣本,確保在測試過程中樣品不發(fā)生移動。
2. **定位**:通過高精度的微調(diào)機制,卡盤可以實現(xiàn)樣品的定位,以便于探針與樣品上的特定點進(jìn)行接觸。
3. **溫度控制**:一些的探針臺卡盤配備了溫度控制功能,可以在不同的溫度條件下進(jìn)行測試,以研究溫度對電性能的影響。
4. **電氣連接**:卡盤通常與探針陣列一起工作,通過探針與樣品接觸,實現(xiàn)電氣信號的傳輸,允許測試電性能參數(shù)。
5. **兼容性**:探針臺卡盤設(shè)計通常具有良好的兼容性,可以與不同類型和尺寸的樣本以及探針頭配合使用。
6. **環(huán)境控制**:一些探針臺卡盤具備氣氛控制功能,可以在特定氣氛(如氮氣或真空環(huán)境)中進(jìn)行測試,以降低氧化和其他環(huán)境影響。
總的來說,探針臺卡盤在半導(dǎo)體研發(fā)和制造過程中扮演著至關(guān)重要的角色,它不僅提高了測試的性,還為研究提供了的實驗條件。

微型高低溫真空探針臺是一種用于電子材料和器件測試的精密儀器,具備以下幾個主要特點:
1. **高低溫測試能力**:能夠在極低溫(如液氮溫度)到高溫(如400°C以上)范圍內(nèi)進(jìn)行測試,適用于不同溫度環(huán)境下的材料性能研究。
2. **真空環(huán)境**:探針臺設(shè)計用于在高真空條件下操作,減少氧化和污染,確保測試結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
3. **高精度探測**:配備高精度的探針和測量系統(tǒng),能夠準(zhǔn)確獲取微小電流、電壓等信號,適用于微小尺度器件的電測量。
4. **微型化設(shè)計**:體積小巧,便于在有限空間內(nèi)進(jìn)行操作,適合于微電子器件、納米材料等研究。
5. **靈活的樣品裝配**:通常具有友好的樣品夾具設(shè)計,便于不同類型和尺寸的樣品裝配和更換。
6. **多功能性**:可能支持多種測試模式,如直流測試、交流測試、霍爾效應(yīng)測試等,適用范圍廣。
7. **易于連接**:可與其他測試設(shè)備(如示波器、信號發(fā)生器等)快速連接,便于進(jìn)行綜合測試。
總之,微型高低溫真空探針臺在材料科學(xué)、半導(dǎo)體研究和納米技術(shù)等領(lǐng)域中具有重要的應(yīng)用價值。

探針座位移平臺是一種用于精密測試和測量的設(shè)備,常用于半導(dǎo)體、光電子和精密制造等領(lǐng)域。其主要特點包括:
1. **高精度**:探針座位移平臺能夠在微米甚至納米級別進(jìn)行高精度的位置控制,以確保測量的準(zhǔn)確性。
2. **多軸運動**:許多探針座位移平臺設(shè)計為多軸系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)X、Y、Z三個維度的立移動,以適應(yīng)復(fù)雜的測量需求。
3. **穩(wěn)定性**:平臺結(jié)構(gòu)通常經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計,以提供高度的機械穩(wěn)定性,減少外部震動對測量結(jié)果的影響。
4. **自動化控制**:現(xiàn)代探針座位移平臺通常配備計算機控制系統(tǒng),支持自動化操作和數(shù)據(jù)采集,提高工作效率。
5. **兼容性強**:探針座可以與多種探針、傳感器和測量設(shè)備相結(jié)合,提供靈活的應(yīng)用方案。
6. **快速響應(yīng)**:的驅(qū)動系統(tǒng)使得平臺能夠快速響應(yīng)控制指令,實現(xiàn)快速定位和測量。
7. **易于操作**:許多平臺設(shè)有用戶友好的界面,使操作人員能夠輕松進(jìn)行設(shè)置和調(diào)整。
8. **可調(diào)節(jié)性**:探針座位移平臺通常允許用戶根據(jù)特定需求來調(diào)整工作參數(shù),例如探針的接觸力、移動速度等。
這些特點使得探針座位移平臺在電子元器件測試、材料分析和微型裝配等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。

探針夾具是一種用于電子測試和信號測量的設(shè)備,它的主要功能包括:
1. **信號接觸**:探針夾具可以地與電路板上的測試點接觸,從而獲取信號或電源。這對于電路功能測試和調(diào)試至關(guān)重要。
2. **高精度定位**:探針夾具通常具有高精度的定位功能,可以確保探針準(zhǔn)確接觸到*的測試點,提高測試的可靠性和準(zhǔn)確性。
3. **自動化測試**:隨著自動化測試技術(shù)的發(fā)展,探針夾具常常與自動測試設(shè)備(ATE)配合使用,實現(xiàn)的自動化測試,提高測試效率和一致性。
4. **適應(yīng)性強**:探針夾具通常設(shè)計為可以適應(yīng)不同規(guī)格的PCB(印刷電路板),支持多種類型的測試點,如焊盤、引腳等。
5. **減少干擾**:良好的探針夾具設(shè)計可以減少在測試過程中可能引入的干擾,提高測量的準(zhǔn)確性。
6. **多通道測試**:一些的探針夾具可以支持多通道同時測試,提高測試的效率,特別是在批量生產(chǎn)測試中具有明顯的優(yōu)勢。
總的來說,探針夾具在電子產(chǎn)品的研發(fā)、測試和生產(chǎn)過程中起到了重要的作用,能夠有效提高測試的效率和準(zhǔn)確性。
真空探針臺是一種用于半導(dǎo)體、微電子和納米技術(shù)等領(lǐng)域的高精度測試設(shè)備,適用于以下幾個方面:
1. **半導(dǎo)體測試**:用于對集成電路(IC)、功率器件、傳感器等半導(dǎo)體器件進(jìn)行電性能測試,包括IV曲線測量、CV特性測試等。
2. **材料科學(xué)**:用于研究和測試薄膜材料、納米材料等在不同環(huán)境下的電學(xué)特性。
3. **微機電系統(tǒng)(MEMS)**:對MEMS器件進(jìn)行電氣測試和性能評估,尤其是在真空環(huán)境下進(jìn)行的測試。
4. **封裝測試**:用于對芯片封裝后進(jìn)行的性能測試,確保封裝過程影響芯片性能。
5. **研發(fā)和實驗室應(yīng)用**:研究機構(gòu)和高??梢岳谜婵仗结樑_進(jìn)行實驗室研究,進(jìn)行新材料和器件的開發(fā)。
6. **測試**:一些應(yīng)用中,真空環(huán)境可以減少信號衰減和噪聲,適合微波器件和電路的測試。
真空探針臺能夠提供穩(wěn)定的測試環(huán)境和高精度的測量,有助于研究人員和工程師獲取準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)和結(jié)果。
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