溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數(shù)量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數(shù)量4(可增加)
探針材質(zhì)紫銅鍍金
測試通道4
載樣臺材質(zhì)及尺寸銀質(zhì),35*35mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
冷熱臺尺寸160*150*29mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
實(shí)驗(yàn)環(huán)境可抽真空,可充入保護(hù)氣氛(氮?dú)猓?,配水冷接?/span>
光學(xué)探針臺是一種用于微觀材料表征和測量的實(shí)驗(yàn)設(shè)備,廣泛應(yīng)用于物理、材料科學(xué)、半導(dǎo)體研究以及生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。其主要功能是通過光學(xué)方式對樣品進(jìn)行分析,獲取樣品的光學(xué)性質(zhì)和其他相關(guān)信息。
光學(xué)探針臺通常具有以下幾個(gè)主要組件:
1. **光源**:提供所需波長的光線,常用的光源有激光器、白光光源等。
2. **探針**:用于接觸樣品并進(jìn)行光學(xué)測量,探針可以是單模或多模光纖,或者特定形狀的光學(xué)元件。
3. **樣品臺**:用于固定樣品位置,通常可以在多個(gè)方向上移動,以便進(jìn)行定位。
4. **探測器**:用于接收從樣品反射或透射回來的光信號,通常是光電二極管、CCD或CMOS相機(jī)等。
5. **控制系統(tǒng)**:用于控制光源、移動樣品臺以及數(shù)據(jù)采集和處理。
光學(xué)探針臺的應(yīng)用包括:
- **表面形貌的測量**:通過干涉、散射等方式進(jìn)行表面粗糙度和形貌分析。
- **光學(xué)性質(zhì)的表征**:測量折射率、透射率等光學(xué)參數(shù)。
- **材料的成分分析**:例如,通過拉曼光譜技術(shù)分析材料的化學(xué)成分。
此類設(shè)備的高分辨率和實(shí)時(shí)測量能力使其在科研和工業(yè)領(lǐng)域中有著重要的應(yīng)用前景。
同軸真空饋通件是一種用于電子設(shè)備的連接器,主要用于在真空環(huán)境中傳輸信號。其特點(diǎn)包括:
1. **優(yōu)良的信號傳輸性能**:同軸結(jié)構(gòu)能夠有效地減少信號的損耗和反射,保證信號的質(zhì)量。
2. **良好的屏蔽性能**:同軸設(shè)計(jì)可提供較好的電磁干擾屏蔽,防止外部干擾信號影響傳輸質(zhì)量。
3. **耐高真空特性**:專門設(shè)計(jì)用于在真空環(huán)境中工作,不易受到氣體和水分的影響,適用于真空設(shè)備,如粒子加速器和真空腔等。
4. **高功率承受能力**:能夠承受較高的功率水平,適合用于高功率射頻應(yīng)用。
5. **機(jī)械穩(wěn)定性**:結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,能夠經(jīng)受一定的機(jī)械應(yīng)力和溫度變化。
6. **便于安裝和維護(hù)**:設(shè)計(jì)通??紤]到易于安裝和維護(hù),便于與其他設(shè)備連接。
7. **多種接口類型**:可根據(jù)需要提供不同類型的連接器接口,以適應(yīng)應(yīng)用場景。
以上這些特點(diǎn)使得同軸真空饋通件在通信、射頻設(shè)備及實(shí)驗(yàn)物理等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

探針臺(Probe Station)是一種用于半導(dǎo)體和微電子測試的設(shè)備,主要用于在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境中對芯片或材料進(jìn)行電學(xué)性能測試。它的主要功能包括:
1. **電氣測試**:探針臺配備有探針,可以直接接觸到芯片上的電氣接點(diǎn),進(jìn)行電性能測試,比如電流、電壓、阻抗等。
2. **溫度控制**:許多探針臺具有溫度控制功能,可以在高溫或低溫下進(jìn)行測試,以評估材料或器件在不同溫度下的特性。
3. **真空環(huán)境**:某些探針臺可以在真空環(huán)境下操作,以減少空氣對測試結(jié)果的影響,尤其是在某些敏感實(shí)驗(yàn)中。
4. **圖像捕捉與分析**:探針臺通常配備有顯微鏡,可以對芯片進(jìn)行觀察,幫助技術(shù)人員準(zhǔn)確定位探針和分析測試結(jié)果。
5. **自動化測試**:一些探針臺能夠與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配合,實(shí)現(xiàn)自動化操作和數(shù)據(jù)采集,提高測試效率和準(zhǔn)確性。
6. **多功能擴(kuò)展**:探針臺可以與其他設(shè)備(如信號發(fā)生器、示波器等)聯(lián)動,進(jìn)行更復(fù)雜的電氣測試和分析。
探針臺廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、材料科學(xué)、電子工程等領(lǐng)域,是研究和開發(fā)新型電子元件的重要工具。

光學(xué)探針臺是一種高精度的實(shí)驗(yàn)設(shè)備,主要用于表征材料的光學(xué)性能和研究微觀結(jié)構(gòu)。以下是光學(xué)探針臺的主要特點(diǎn):
1. **高精度定位**:光學(xué)探針臺通常具備高精度的運(yùn)動系統(tǒng),能夠在微米或納米級別上進(jìn)行樣品定位,以確保實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
2. **多功能性**:很多光學(xué)探針臺可以支持多種測量方法,如反射、透射、熒光及拉曼光譜等,適用于不同的研究需求。
3. **環(huán)境控制**:有些光學(xué)探針臺配備有溫度、濕度、氣氛等環(huán)境控制系統(tǒng),能夠在特定條件下進(jìn)行實(shí)驗(yàn),適應(yīng)不同材料的測試要求。
4. **光學(xué)元件的集成**:探針臺通常集成有高性能的光學(xué)元件,如透鏡、濾光片和光源等,以提高光學(xué)測量的靈敏度和信噪比。
5. **圖像采集與分析**:許多光學(xué)探針臺具有圖像采集功能,可以實(shí)時(shí)觀察樣品表面、形貌及其他特征,并與測量數(shù)據(jù)結(jié)合進(jìn)行分析。
6. **模塊化設(shè)計(jì)**:一些探針臺是模塊化的,可以根據(jù)實(shí)驗(yàn)需要進(jìn)行升級和擴(kuò)展,適應(yīng)不同的研究需求。
7. **用戶友好的操作界面**:現(xiàn)代的光學(xué)探針臺通常配備友好的軟件界面,使得用戶可以輕松設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù),進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和分析。
8. **適用性廣**:廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域,在基礎(chǔ)研究和工業(yè)應(yīng)用中都具有重要價(jià)值。
光學(xué)探針臺因其高度和多功能性,被廣泛用于科研與工業(yè)領(lǐng)域的光學(xué)測量與分析任務(wù)。

探針臺卡盤(Probing Station Chuck)在半導(dǎo)體測試和研究中具有重要功能。它的主要功能包括:
1. **樣品固定**:探針臺卡盤能夠穩(wěn)固地固定待測試的半導(dǎo)體芯片或其他樣本,確保在測試過程中樣品不發(fā)生移動。
2. **定位**:通過高精度的微調(diào)機(jī)制,卡盤可以實(shí)現(xiàn)樣品的定位,以便于探針與樣品上的特定點(diǎn)進(jìn)行接觸。
3. **溫度控制**:一些的探針臺卡盤配備了溫度控制功能,可以在不同的溫度條件下進(jìn)行測試,以研究溫度對電性能的影響。
4. **電氣連接**:卡盤通常與探針陣列一起工作,通過探針與樣品接觸,實(shí)現(xiàn)電氣信號的傳輸,允許測試電性能參數(shù)。
5. **兼容性**:探針臺卡盤設(shè)計(jì)通常具有良好的兼容性,可以與不同類型和尺寸的樣本以及探針頭配合使用。
6. **環(huán)境控制**:一些探針臺卡盤具備氣氛控制功能,可以在特定氣氛(如氮?dú)饣蛘婵窄h(huán)境)中進(jìn)行測試,以降低氧化和其他環(huán)境影響。
總的來說,探針臺卡盤在半導(dǎo)體研發(fā)和制造過程中扮演著至關(guān)重要的角色,它不僅提高了測試的性,還為研究提供了的實(shí)驗(yàn)條件。
真空探針臺是一種用于半導(dǎo)體、微電子和納米技術(shù)等領(lǐng)域的高精度測試設(shè)備,適用于以下幾個(gè)方面:
1. **半導(dǎo)體測試**:用于對集成電路(IC)、功率器件、傳感器等半導(dǎo)體器件進(jìn)行電性能測試,包括IV曲線測量、CV特性測試等。
2. **材料科學(xué)**:用于研究和測試薄膜材料、納米材料等在不同環(huán)境下的電學(xué)特性。
3. **微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)**:對MEMS器件進(jìn)行電氣測試和性能評估,尤其是在真空環(huán)境下進(jìn)行的測試。
4. **封裝測試**:用于對芯片封裝后進(jìn)行的性能測試,確保封裝過程影響芯片性能。
5. **研發(fā)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用**:研究機(jī)構(gòu)和高??梢岳谜婵仗结樑_進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室研究,進(jìn)行新材料和器件的開發(fā)。
6. **測試**:一些應(yīng)用中,真空環(huán)境可以減少信號衰減和噪聲,適合微波器件和電路的測試。
真空探針臺能夠提供穩(wěn)定的測試環(huán)境和高精度的測量,有助于研究人員和工程師獲取準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)和結(jié)果。
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