真空腔室Ф246×260mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵國(guó)產(chǎn)FF-63/80分子泵
前級(jí)泵機(jī)械泵
真空規(guī)全量程真空規(guī)
蒸發(fā)源電阻蒸發(fā)源(兼容金屬與有機(jī)蒸發(fā))3組,可切換使用
蒸發(fā)電源2000W直流蒸發(fā)電源1臺(tái),供3組蒸發(fā)源切換使用
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機(jī)LX-300
膜厚儀FTM-107A單探頭
前級(jí)閥GDC-25b電磁擋板閥1套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺(tái)可拆卸式60×60mm,具備水冷、旋轉(zhuǎn)功能
真空管路波紋管、真空管道等1套
設(shè)備機(jī)架機(jī)電一體化
預(yù)留接口CF35一個(gè)
輔件備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)是一種用于材料薄膜沉積的設(shè)備,尤其是在有機(jī)材料的薄膜生產(chǎn)中。它廣泛應(yīng)用于有機(jī)電子(如有機(jī)發(fā)光二極管OLED、太陽能電池等)、光電材料和其他相關(guān)領(lǐng)域。
其工作原理主要包括以下幾個(gè)步驟:
1. **材料準(zhǔn)備**:將待蒸發(fā)的有機(jī)材料放置在蒸發(fā)源中,通常是一個(gè)加熱的坩堝或舟。
2. **加熱蒸發(fā)**:通過加熱,使得有機(jī)材料達(dá)到其蒸發(fā)溫度,轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀唷?br/>3. **沉積過程**:蒸發(fā)出的有機(jī)分子在真空環(huán)境中向基板表面移動(dòng),并在基板上沉積形成薄膜。真空環(huán)境可以減少氣體分子的碰撞,提高沉積效率和膜的質(zhì)量。
4. **薄膜生長(zhǎng)**:控制沉積速率和溫度,以獲得所需厚度和均勻性。
幾種關(guān)鍵參數(shù)在有機(jī)蒸發(fā)鍍膜中重要,包括真空度、沉積速率、基板溫度和材料選擇等。這些參數(shù)的優(yōu)化可以顯著提高薄膜的性能和均勻性。
有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)的優(yōu)點(diǎn)包括:
- 適用于多種有機(jī)材料的沉積。
- 可以實(shí)現(xiàn)量、均勻的薄膜。
- 適合于大面積沉積。
在購買或使用此類設(shè)備時(shí),需考慮生產(chǎn)需求、預(yù)算、設(shè)備的易用性以及維修服務(wù)等因素。
小型熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是一種常見的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,主要用于材料表面的薄膜沉積,其特點(diǎn)包括:
1. **小巧便攜**:設(shè)計(jì)緊湊,適合實(shí)驗(yàn)室、研究機(jī)構(gòu)及小規(guī)模生產(chǎn)等場(chǎng)所使用,便于搬運(yùn)和安裝。
2. **操作簡(jiǎn)便**:通常配備直觀的操作界面和控制系統(tǒng),便于用戶操作和調(diào)節(jié)參數(shù)。
3. **蒸發(fā)效率高**:利用熱蒸發(fā)原理,能夠在較短時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)率的鍍膜過程。
4. **適用材料廣泛**:可以用于多種金屬及某些非金屬材料的蒸發(fā)鍍膜,適應(yīng)性強(qiáng)。
5. **膜層質(zhì)量好**:能夠沉積出均勻、致密的薄膜,滿足高要求的光學(xué)、電氣性能。
6. **真空環(huán)境**:配置高真空系統(tǒng),可以有效防止污染,提高膜層純度。
7. **溫度控制**:具備的溫度控制功能,能夠調(diào)節(jié)蒸發(fā)源的溫度,以優(yōu)化膜層性能。
8. **成本相對(duì)較低**:相比于大型鍍膜設(shè)備,投資成本較低,適合預(yù)算有限的單位。
9. **多樣化的附加功能**:部分設(shè)備還可以選配如厚度監(jiān)測(cè)、靶材更換等功能,以提高應(yīng)用的靈活性。
10. **節(jié)能環(huán)保**:現(xiàn)代設(shè)備在設(shè)計(jì)上往往考慮能耗,運(yùn)行過程中的能量利用效率較高。
這些特點(diǎn)使得小型熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)在科學(xué)研究、新材料開發(fā)和小規(guī)模生產(chǎn)中擁有廣泛的應(yīng)用前景。

有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)是一種用于在基材上沉積有機(jī)薄膜的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光電器件、顯示器、太陽能電池等領(lǐng)域。其主要特點(diǎn)包括:
1. **能沉積**:有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)能夠地將有機(jī)材料轉(zhuǎn)化為氣相并沉積在基材表面,形成均勻的薄膜。
2. **良好的膜質(zhì)量**:設(shè)備通常采用的真空技術(shù),能夠有效去除雜質(zhì),從而獲得量的有機(jī)薄膜,具有良好的光學(xué)和電氣性能。
3. **自動(dòng)化程度高**:現(xiàn)代有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般配備自動(dòng)化控制系統(tǒng),能夠控制各個(gè)工藝參數(shù),如溫度、壓力、沉積速率等,提升了生產(chǎn)效率和膜層一致性。
4. **適應(yīng)性強(qiáng)**:該設(shè)備可以處理類型的有機(jī)材料,包括小分子有機(jī)物和高分子聚合物,適用于不同的應(yīng)用需求。
5. **設(shè)備靈活性**:有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)通常具有較高的配置靈活性,可以根據(jù)不同的工藝需求進(jìn)行調(diào)整和改造,適應(yīng)多種生產(chǎn)環(huán)境。
6. **節(jié)能環(huán)保**:部分有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)采用節(jié)能設(shè)計(jì),降低了能源消耗,同時(shí)在材料選擇和生產(chǎn)過程中也考慮環(huán)保因素。
7. **適用于大面積沉積**:一些型號(hào)能夠?qū)崿F(xiàn)大面積基材的沉積,滿足大尺寸器件的生產(chǎn)需求。
綜上所述,有機(jī)蒸發(fā)鍍膜機(jī)憑借其、靈活和環(huán)保的特點(diǎn),成為了現(xiàn)代電子和光電產(chǎn)業(yè)中的重要設(shè)備。

電阻蒸鍍機(jī)是一種廣泛應(yīng)用于薄膜沉積技術(shù)的設(shè)備,主要用于在基材表面沉積金屬或其他材料。其主要特點(diǎn)包括:
1. **能**:電阻蒸鍍機(jī)能夠快速有效地將材料蒸發(fā)并沉積到基材上,適合大規(guī)模生產(chǎn)和連續(xù)作業(yè)。
2. **控制精度高**:該設(shè)備通常配備精密的電流和溫度控制系統(tǒng),可以準(zhǔn)確調(diào)節(jié)蒸發(fā)過程中材料的蒸發(fā)速率,從而實(shí)現(xiàn)均勻的薄膜厚度。
3. **材料適應(yīng)性強(qiáng)**:電阻蒸鍍機(jī)可以使用多種金屬和合金材料,包括鋁、銅、銀、金等。
4. **真空環(huán)境**:為了提高沉積質(zhì)量,電阻蒸鍍過程通常在真空環(huán)境下進(jìn)行,減少了氧化和污染的風(fēng)險(xiǎn)。
5. **簡(jiǎn)便的操作**:相較于其他蒸鍍技術(shù),電阻蒸鍍機(jī)的操作相對(duì)簡(jiǎn)單,易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化。
6. **可實(shí)現(xiàn)多層沉積**:通過控制同時(shí)蒸發(fā)不同材料,電阻蒸鍍機(jī)可以實(shí)現(xiàn)多層膜的沉積,適用于復(fù)雜的光電器件和微電子器件的制造。
7. ****:相較于其他一些物相沉積技術(shù),電阻蒸鍍機(jī)的設(shè)備和運(yùn)行成本較低。
8. **環(huán)保性**:電阻蒸鍍過程中產(chǎn)生的廢物較少,對(duì)環(huán)境的影響相對(duì)較小。
這些特點(diǎn)使電阻蒸鍍機(jī)在半導(dǎo)體、光電材料、光學(xué)涂層等領(lǐng)域獲得了廣泛應(yīng)用。

鈣鈦礦鍍膜機(jī)是一種專門用于制造鈣鈦礦材料的設(shè)備,通常涉及薄膜沉積技術(shù)。這種機(jī)器的主要功能包括:
1. **薄膜沉積**:通過化學(xué)氣相沉積(CVD)、物相沉積(PVD)或溶膠-凝膠法等技術(shù),將鈣鈦礦材料沉積在基材上,形成均勻的薄膜。
2. **高精度控制**:能夠控制沉積過程中的溫度、壓力和氣體流量,以確保薄膜的厚度和均勻性符合要求。
3. **材料多樣性**:支持多種鈣鈦礦材料的沉積,包括不同的組成和結(jié)構(gòu),以適應(yīng)不同應(yīng)用需求。
4. **表面處理**:可以對(duì)鍍膜后處理表面進(jìn)行刻蝕或清洗,以改善薄膜的性能和附著力。
5. **實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)**:配備傳感器和監(jiān)測(cè)系統(tǒng),可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)沉積狀態(tài)和薄膜質(zhì)量,確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和可重復(fù)性。
6. **自動(dòng)化操作**:許多鈣鈦礦鍍膜機(jī)具有自動(dòng)化功能,能夠減少人工干預(yù),提高生產(chǎn)效率和減少人為錯(cuò)誤。
鈣鈦礦材料被廣泛應(yīng)用于太陽能電池、光電器件、催化劑等領(lǐng)域,因此,鈣鈦礦鍍膜機(jī)在新材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化方面具有重要意義。
熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)是一種廣泛應(yīng)用于薄膜沉積的設(shè)備,適用于多種領(lǐng)域和材料。其適用范圍主要包括:
1. **光學(xué)器件**:用于生產(chǎn)光學(xué)薄膜,如抗反射膜、鍍膜鏡頭等。
2. **電子元件**:在半導(dǎo)體、光電子、太陽能電池等領(lǐng)域沉積金屬和絕緣層。
3. **裝飾性涂層**:用于金屬、玻璃、塑料等表面的裝飾鍍膜,以提升美觀和耐腐蝕性。
4. **傳感器**:在傳感器制造過程中用于沉積薄膜,以實(shí)現(xiàn)特定的電學(xué)、光學(xué)或化學(xué)特性。
5. **硬質(zhì)涂層**:用于工具、模具等表面的硬化處理,提高耐磨性和使用壽命。
6. **器械**:在某些器械中應(yīng)用特殊薄膜以增強(qiáng)生物相容性或防污染。
7. **照明設(shè)備**:用于LED、激光器等照明設(shè)備中的薄膜沉積。
總之,熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)因其操作簡(jiǎn)單、沉積速度快以及適應(yīng)不同材料的能力,成為許多行業(yè)中的制造設(shè)備。
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