真空腔室Ф246×260mm,304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
分子泵國產(chǎn)FF-63/80分子泵
前級泵機械泵
真空規(guī)全量程真空規(guī)
蒸發(fā)源電阻蒸發(fā)源(兼容金屬與有機蒸發(fā))3組,可切換使用
蒸發(fā)電源2000W直流蒸發(fā)電源1臺,供3組蒸發(fā)源切換使用
控制系統(tǒng)PLC+觸摸屏智能控制系統(tǒng)1套
冷水機LX-300
膜厚儀FTM-107A單探頭
前級閥GDC-25b電磁擋板閥1套
充氣閥Φ6mm,電磁截止閥1套
基片臺可拆卸式60×60mm,具備水冷、旋轉(zhuǎn)功能
真空管路波紋管、真空管道等1套
設(shè)備機架機電一體化
預(yù)留接口CF35一個
輔件備件CF35銅墊圈及氟密封圈全套等
熱蒸發(fā)鍍膜機是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、材料科學(xué)等領(lǐng)域。其基本原理是通過加熱材料,使其蒸發(fā)成氣態(tài),然后在基底表面凝結(jié)形成薄膜。熱蒸發(fā)鍍膜機通常由以下幾個主要部分組成:
1. **真空腔體**:提供低壓環(huán)境,以減少氣體分子對蒸發(fā)材料和沉積薄膜的干擾。
2. **加熱源**:通常使用電阻加熱絲或電子束加熱來加熱蒸發(fā)材料,達到其蒸發(fā)溫度。
3. **蒸發(fā)源**:放置待蒸發(fā)材料的容器,可以是鑄坯、靶材等。
4. **基底夾持系統(tǒng)**:用于固定和加熱待涂覆的基底,一般位于蒸發(fā)源的上方。
5. **監(jiān)控系統(tǒng)**:用于監(jiān)測沉積速度和膜厚,常用的技術(shù)有石英晶體振蕩器或光學(xué)膜厚測量。
6. **冷卻系統(tǒng)**:在一些情況下,可能需要冷卻基底以改善膜的品質(zhì)。
熱蒸發(fā)鍍膜機的優(yōu)點包括沉積速度快、膜層均勻、膜的純度高等,但也有局限性,如膜的附著力和應(yīng)力問題。
在選購和使用熱蒸發(fā)鍍膜機時,需要根據(jù)具體的應(yīng)用需求,例如膜材料、沉積速率、膜厚度及基底材料等制定相應(yīng)的方案。
鈣鈦礦鍍膜機是一種用于制備鈣鈦礦材料的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光電材料的研究和產(chǎn)業(yè)化。以下是鈣鈦礦鍍膜機的一些主要特點:
1. **高精度控制**:鈣鈦礦鍍膜機通常配備高精度的溫度、氣體流量和壓力控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)對膜厚度和質(zhì)量的控制。
2. **多種成膜技術(shù)**:設(shè)備可能支持多種成膜技術(shù),如溶液法、真空蒸發(fā)、磁控濺射、化學(xué)氣相沉積(CVD)等,以滿足不同材料和應(yīng)用的需求。
3. **均勻性好**:鈣鈦礦鍍膜機通過優(yōu)化基板旋轉(zhuǎn)、氣體流動等參數(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)高均勻性的薄膜沉積,提高材料性能。
4. **適應(yīng)性強**:可適用于不同類型的基材,包括玻璃、硅片、塑料等,提供更大的設(shè)計靈活性。
5. **快速換膜**:許多鈣鈦礦鍍膜機設(shè)計有快速換膜功能,方便進行不同材料的快速切換,提高生產(chǎn)效率。
6. **環(huán)境友好**:新型鈣鈦礦鍍膜機在材料使用和廢氣處理方面越來越注重環(huán)保,減少對環(huán)境的影響。
7. **便于規(guī)?;a(chǎn)**:具備一定自動化程度的設(shè)備可以支持大規(guī)模生產(chǎn),滿足工業(yè)化需求。
8. **實時監(jiān)控與數(shù)據(jù)記錄**:設(shè)備通常配備實時監(jiān)控系統(tǒng),可以記錄沉積過程中的各項數(shù)據(jù),便于后續(xù)分析和優(yōu)化。
這些特點使得鈣鈦礦鍍膜機在光伏、發(fā)光二極管(LED)、激光器等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

蒸發(fā)舟是一種常用于材料科學(xué)和薄膜制備的設(shè)備,特別是在物相沉積(PVD)技術(shù)中。蒸發(fā)舟的主要作用是通過加熱將固態(tài)材料轉(zhuǎn)化為氣態(tài),以實現(xiàn)薄膜的沉積。蒸發(fā)舟蒸發(fā)顆粒的特點主要包括以下幾個方面:
1. **均勻性**:蒸發(fā)過程中,顆粒的蒸發(fā)速率較為均勻,能夠在基底上形成均勻的薄膜。
2. **可控性**:通過調(diào)節(jié)加熱溫度和加熱時間,可以控制蒸發(fā)速率,從而調(diào)節(jié)薄膜的厚度和組成。
3. **材料兼容性**:蒸發(fā)舟可以用于多種不同材料的蒸發(fā),如金屬、氧化物和高分子材料等,適應(yīng)性較強。
4. **顆粒尺寸**:蒸發(fā)顆粒的尺寸通常較小,有助于加快蒸發(fā)速度,提升薄膜的沉積效率。
5. **高純度**:蒸發(fā)舟中使用的材料一般要求高純度,以確保終薄膜的性能和質(zhì)量。
6. **熱穩(wěn)定性**:蒸發(fā)舟本身需要具備良好的熱穩(wěn)定性,以承受高溫而不發(fā)生變形或熔化。
7. **氣氛控制**:蒸發(fā)實驗通常在真空或特定氣氛中進行,以避免反應(yīng)雜質(zhì)的影響,確保顆粒的質(zhì)量。
這些特點使得蒸發(fā)舟在真空蒸發(fā)和其他沉積技術(shù)中得到了廣泛應(yīng)用。

電阻蒸鍍機是一種廣泛應(yīng)用于薄膜沉積技術(shù)的設(shè)備,主要用于在基材表面沉積金屬或其他材料。其主要特點包括:
1. **能**:電阻蒸鍍機能夠快速有效地將材料蒸發(fā)并沉積到基材上,適合大規(guī)模生產(chǎn)和連續(xù)作業(yè)。
2. **控制精度高**:該設(shè)備通常配備精密的電流和溫度控制系統(tǒng),可以準(zhǔn)確調(diào)節(jié)蒸發(fā)過程中材料的蒸發(fā)速率,從而實現(xiàn)均勻的薄膜厚度。
3. **材料適應(yīng)性強**:電阻蒸鍍機可以使用多種金屬和合金材料,包括鋁、銅、銀、金等。
4. **真空環(huán)境**:為了提高沉積質(zhì)量,電阻蒸鍍過程通常在真空環(huán)境下進行,減少了氧化和污染的風(fēng)險。
5. **簡便的操作**:相較于其他蒸鍍技術(shù),電阻蒸鍍機的操作相對簡單,易于實現(xiàn)自動化。
6. **可實現(xiàn)多層沉積**:通過控制同時蒸發(fā)不同材料,電阻蒸鍍機可以實現(xiàn)多層膜的沉積,適用于復(fù)雜的光電器件和微電子器件的制造。
7. ****:相較于其他一些物相沉積技術(shù),電阻蒸鍍機的設(shè)備和運行成本較低。
8. **環(huán)保性**:電阻蒸鍍過程中產(chǎn)生的廢物較少,對環(huán)境的影響相對較小。
這些特點使電阻蒸鍍機在半導(dǎo)體、光電材料、光學(xué)涂層等領(lǐng)域獲得了廣泛應(yīng)用。

蒸發(fā)舟(或稱為蒸發(fā)小舟)在化學(xué)和材料科學(xué)中主要用于薄膜的制備和物質(zhì)的蒸發(fā)沉積。它的基本功能包括:
1. **材料蒸發(fā)**:蒸發(fā)舟可以將固態(tài)材料加熱到其蒸發(fā)溫度,使其轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài),通過真空或惰性氣體環(huán)境將蒸發(fā)出的顆粒沉積在基材上。
2. **薄膜沉積**:通過控制蒸發(fā)過程可以在基材上形成均勻、薄的薄膜,這對于制作電子器件、光學(xué)涂層等重要。
3. **材料選擇性**:蒸發(fā)舟可以用于多種材料(如金屬、氧化物、聚合物等)的蒸發(fā),適應(yīng)不同的應(yīng)用需求。
4. **控制**:通過調(diào)整加熱功率和蒸發(fā)時間,可以控制沉積的厚度和質(zhì)量。
5. **提高純度**:在真空環(huán)境中蒸發(fā),可以減少雜質(zhì)及氧化反應(yīng),得到較高純度的沉積材料。
6. **應(yīng)用廣泛**:蒸發(fā)舟被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、光學(xué)器件、太陽能電池、傳感器等領(lǐng)域。
通過這些功能,蒸發(fā)舟在材料的制備和研究中起到了關(guān)鍵的作用。
熱蒸發(fā)鍍膜機是一種廣泛應(yīng)用于薄膜沉積的設(shè)備,適用于多種領(lǐng)域和材料。其適用范圍主要包括:
1. **光學(xué)器件**:用于生產(chǎn)光學(xué)薄膜,如抗反射膜、鍍膜鏡頭等。
2. **電子元件**:在半導(dǎo)體、光電子、太陽能電池等領(lǐng)域沉積金屬和絕緣層。
3. **裝飾性涂層**:用于金屬、玻璃、塑料等表面的裝飾鍍膜,以提升美觀和耐腐蝕性。
4. **傳感器**:在傳感器制造過程中用于沉積薄膜,以實現(xiàn)特定的電學(xué)、光學(xué)或化學(xué)特性。
5. **硬質(zhì)涂層**:用于工具、模具等表面的硬化處理,提高耐磨性和使用壽命。
6. **器械**:在某些器械中應(yīng)用特殊薄膜以增強生物相容性或防污染。
7. **照明設(shè)備**:用于LED、激光器等照明設(shè)備中的薄膜沉積。
總之,熱蒸發(fā)鍍膜機因其操作簡單、沉積速度快以及適應(yīng)不同材料的能力,成為許多行業(yè)中的制造設(shè)備。
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