真空腔室L400×W440×H450mm,采用SUS304優(yōu)質(zhì)不銹鋼
觀察窗Φ100mm,含磁力擋板
屏蔽板不銹鋼,便于拆卸清潔、更換
水冷蒸發(fā)電極8根組成4組
金屬蒸發(fā)電源功率3kW
復(fù)合分子泵JTFB-650Z脂潤滑分子泵,抽速650L/s
直聯(lián)高速旋片式真空泵TRP-36,抽速9L/s
氣動高真空插板閥DN150
前級閥/旁路閥DN40
放氣閥φ10 電磁充氣閥
數(shù)顯復(fù)合真空計兩低一高,含規(guī)管
波紋管、真空管道材質(zhì)SUS304不銹鋼
電阻蒸鍍機是一種用于薄膜沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、 optics 等領(lǐng)域。它的基本工作原理是通過電阻加熱將材料(通常是金屬或合金)加熱到蒸發(fā)溫度,使其從固態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài),然后冷卻后在基材上形成薄膜。
以下是電阻蒸鍍機的一些關(guān)鍵組成部分和特點:
1. **電阻加熱源**:通過電阻絲或鎢絲加熱蒸發(fā)源,相關(guān)溫度能夠控制材料的蒸發(fā)速率。
2. **真空室**:在真空環(huán)境下進行蒸鍍可以減少氣體分子的干擾,從而提高薄膜的質(zhì)量和純度。
3. **蒸發(fā)源**:放置待蒸發(fā)材料的地方,常用的材料有鋁、金、銀等。
4. **基材夾持系統(tǒng)**:用于固定待涂覆的物體,確保薄膜均勻性。
5. **厚度監(jiān)測器**:通常使用晶體監(jiān)測器(如QCM)來實時監(jiān)測薄膜的厚度,確保達到預(yù)定的沉積量。
6. **冷卻系統(tǒng)**:在蒸鍍過程中,冷卻系統(tǒng)可以防止設(shè)備過熱,保證設(shè)備和材料的穩(wěn)定性。
電阻蒸鍍機具有操作簡便、控制準確和沉積均勻等優(yōu)點,適合大面積和高均勻性薄膜的制備。由于其熱沉積的特性,相比其他蒸鍍方式(例如電子束蒸鍍),更適合處理低熔屬和合金。
蒸發(fā)舟是一種用于薄膜沉積和蒸發(fā)材料的裝置,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體制造以及光學(xué)薄膜的生產(chǎn)中。它的主要功能和特點包括:
1. **材料蒸發(fā)**:蒸發(fā)舟通過加熱將固體材料加熱到其熔點或蒸發(fā)點,使其轉(zhuǎn)變?yōu)闅鈶B(tài),隨后沉積到基材上形成薄膜。
2. **薄膜均勻性**:蒸發(fā)舟可以控制蒸發(fā)速率和溫度,從而在基材上形成均勻厚度的薄膜,這對于光學(xué)性能和電學(xué)性能至關(guān)重要。
3. **控制**:通過調(diào)整蒸發(fā)舟的加熱方式(如電阻加熱、激光加熱等),可以實現(xiàn)對蒸發(fā)速率和沉積材料的控制。
4. **多種材料**:可以使用材料,如金屬、氧化物和聚合物,進行蒸發(fā)沉積,以滿足不同應(yīng)用的需求。
5. **真空環(huán)境**:通常在真空環(huán)境中進行操作,以減少氧化和污染,提高薄膜的質(zhì)量和性能。
6. **應(yīng)用廣泛**:用于光電器件、太陽能電池、傳感器等多個領(lǐng)域,通過制備高性能薄膜來提升器件性能。
蒸發(fā)舟在薄膜技術(shù)中的重要性使其成為現(xiàn)代材料科學(xué)和工程中的一種關(guān)鍵工具。

鈣鈦礦鍍膜機是一種用于制造鈣鈦礦材料薄膜的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光伏、光電子和其他相關(guān)領(lǐng)域。其主要功能包括:
1. **薄膜制備**:該設(shè)備能夠在不同基底上沉積鈣鈦礦材料,形成均勻的薄膜,以便用于太陽能電池、發(fā)光二極管等器件。
2. **沉積技術(shù)支持**:通常支持多種沉積技術(shù),如溶液法、蒸發(fā)法、噴涂法、化學(xué)氣相沉積(CVD)等,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的沉積方式。
3. **過程控制**:高精度的控制系統(tǒng)能夠調(diào)節(jié)沉積過程中溫度、壓力、流量等參數(shù),以確保薄膜質(zhì)量和性能。
4. **廣泛適應(yīng)性**:能夠處理不同類型和尺寸的基材,包括玻璃、塑料、硅片等,適應(yīng)性強。
5. **后處理功能**:有些鈣鈦礦鍍膜機還配備了后處理功能,例如退火或光照處理,以優(yōu)化薄膜結(jié)構(gòu)和提高電性。
6. **自動化與數(shù)據(jù)記錄**:現(xiàn)代鍍膜機通常具備自動化操作和實時數(shù)據(jù)記錄功能,以提高生產(chǎn)效率和可靠性。
7. **環(huán)境控制**:部分設(shè)備可在特定的氣氛條件下(如惰性氣體或真空環(huán)境)進行操作,減少氧氣和水分對鈣鈦礦材料的影響,提升薄膜的穩(wěn)定性。
通過這些功能,鈣鈦礦鍍膜機為研究和產(chǎn)業(yè)化提供了重要的技術(shù)支持,推動了鈣鈦礦材料的發(fā)展。

鈣鈦礦鍍膜機是一種用于制備鈣鈦礦材料薄膜的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于光伏、光電和其他相關(guān)領(lǐng)域。以下是鈣鈦礦鍍膜機的一些主要特點:
1. **能**:鈣鈦礦鍍膜機能夠快速制備量的鈣鈦礦薄膜,提升生產(chǎn)效率。
2. **均勻性**:設(shè)備設(shè)計確保薄膜厚度均勻,能夠滿足高性能器件的要求。
3. **多種制備方法**:鈣鈦礦鍍膜機通常支持多種薄膜制備技術(shù),如溶液法、蒸發(fā)法和噴涂法等,提供靈活的工藝選擇。
4. **溫控系統(tǒng)**:設(shè)備配有的溫控系統(tǒng),以確保在鍍膜過程中溫度穩(wěn)定,避免材料性質(zhì)受到影響。
5. **氣氛控制**:部分鈣鈦礦鍍膜機可以在惰性氣體或特定氣氛下工作,減少氧化和其他不利反應(yīng)。
6. **自動化程度高**:許多鈣鈦礦鍍膜機具有高度自動化功能,減少人工干預(yù),提高操作安全性和性。
7. **易于集成**:設(shè)備通常設(shè)計便于與其他測試和后處理設(shè)備集成,形成完整的生產(chǎn)線。
8. **可擴展性**:根據(jù)生產(chǎn)需求,可以靈活擴展規(guī)模,以滿足不同量產(chǎn)要求。
這些特點使鈣鈦礦鍍膜機在現(xiàn)代材料研究和工業(yè)生產(chǎn)中成為重要的設(shè)備之一。

有機蒸發(fā)鍍膜機是一種用于有機材料沉積的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于電子、光電子、顯示器和光學(xué)器件等領(lǐng)域。其主要特點包括:
1. **高真空環(huán)境**:有機蒸發(fā)鍍膜機通常在高真空環(huán)境下操作,這有助于減少蒸發(fā)過程中分子的碰撞,從而提高膜層的質(zhì)量和均勻性。
2. **的溫度控制**:設(shè)備配備高精度的溫控系統(tǒng),可以控制蒸發(fā)源的溫度,從而調(diào)節(jié)沉積速率,確保膜層的厚度和質(zhì)量。
3. **多種蒸發(fā)源**:可以支持多種有機材料的蒸發(fā),如聚合物、染料等,滿足不同應(yīng)用的需求。
4. **可調(diào)節(jié)的沉積速率**:通過改變蒸發(fā)源的功率和距離,可以實現(xiàn)對沉積速率的調(diào)控。
5. **自動化控制**:現(xiàn)代化的有機蒸發(fā)鍍膜機通常配備自動化控制系統(tǒng),可以進行實時監(jiān)測和數(shù)據(jù)記錄,提高操作的便利性和重復(fù)性。
6. **良好的膜附著力**:在合適的條件下,有機蒸發(fā)鍍膜可以獲得良好的膜附著力,有助于提高器件的性能和穩(wěn)定性。
7. **適應(yīng)性強**:可用于不同基材和形狀的沉積,靈活適應(yīng)工藝要求。
8. **可擴展性**:許多有機蒸發(fā)鍍膜機支持添加不同的配件和功能模塊,方便進行多種工藝的擴展。
9. **環(huán)保性**:與傳統(tǒng)的化學(xué)沉積方法相比,有機蒸發(fā)鍍膜通常產(chǎn)生的廢物較少,較為環(huán)保。
這些特點使得有機蒸發(fā)鍍膜機在許多高科技領(lǐng)域中具有重要的應(yīng)用價值。
有機蒸發(fā)鍍膜機是一種用于高真空鍍膜的設(shè)備,主要用于將有機材料(如聚合物、染料等)蒸發(fā)沉積在基材表面。其適用范圍包括:
1. **光電器件**:包括OLED(有機發(fā)光二極管)、OPV(有機光伏)等的制造。
2. **顯示器**:用于液晶顯示器(LCD)和有機發(fā)光顯示器(OLED)的制造。
3. **太陽能電池**:在有機太陽能電池的生產(chǎn)中用于沉積光吸收層和電極材料。
4. **傳感器**:在氣體傳感器和生物傳感器中應(yīng)用。
5. **封裝材料**:用于有機或柔性電子器件的封裝,提供保護層。
6. **光學(xué)涂層**:用于制作防反射涂層、鏡頭涂層等光學(xué)器件的表面處理。
7. **防護涂層**:在某些應(yīng)用中用于提高材料的耐磨性和抗腐蝕性。
有機蒸發(fā)鍍膜機的靈活性使其能夠滿足不同材料和工藝的需求,在多個領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用。
http://www.600pd.com