溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數量4(可增加)
探針材質紫銅鍍金
測試通道4
載樣臺材質及尺寸銀質,35*35mm(以實際尺寸為準)
冷熱臺尺寸160*150*29mm(以實際尺寸為準)
實驗環(huán)境可抽真空,可充入保護氣氛(氮氣),配水冷接口
探針座位移平臺是一種精密設備,通常用于半導體測試、微電子制造和材料科學等領域。其主要功能是通過高精度的位移控制,確保探針與被測樣品之間的正確接觸,從而進行電氣特性測試或其他類型的非破壞性測試。
這種平臺通常具備以下特點:
1. **高精度定位**:能夠在微米或亞微米級別進行定位,使得測試結果更加準確。
2. **多維度移動**:一般支持X、Y、Z三個方向的移動,以便對樣品進行全面的探測。
3. **自動化功能**:一些現(xiàn)代的探針座平臺可能配備自動化控制系統(tǒng),能夠實現(xiàn)自動對焦、自動接觸以及數據記錄等功能,提高工作效率。
4. **兼容性**:能夠與多種類型的探針頭和測試設備兼容,以滿足不同測試需求。
5. **用戶友好的界面**:通常配備圖形用戶界面(GUI),方便操作人員進行設置和監(jiān)控測試過程。
探針座位移平臺在半導體器件的研發(fā)和制造過程中起著關鍵作用,幫助工程師評估器件的電氣性能,進行質量控制和故障分析。
真空探針臺是一種用于微電子和材料科學領域的高精度測試設備,主要用于對半導體wafer、材料樣品的電氣特性進行測量。其特點主要包括:
1. **高真空環(huán)境**:真空探針臺能夠在高真空條件下工作,減少氣體分子對測試過程的干擾,提高測量的準確性和重復性。
2. **高精度定位**:該設備通常配備高精度的定位系統(tǒng),可以對準探針與樣品的接觸點,確保測量的準確性。
3. **多樣化探針選擇**:真空探針臺支持多種類型的探針,可根據不同的實驗需求進行更換,適應不同的測試任務。
4. **溫度控制功能**:許多真空探針臺配備了溫度控制系統(tǒng),能夠在特定溫度下進行測量,對于研究材料的溫度依賴特性尤為重要。
5. **高靈敏度測量**:在真空條件下,探針臺能夠進行更高靈敏度的電氣測量,適合于低信號的測量任務。
6. **兼容性強**:真空探針臺通常可以與多種測試設備協(xié)同使用,如網絡分析儀、示波器等,滿足多種測試需求。
7. **自動化程度**:現(xiàn)代真空探針臺往往具備自動化控制系統(tǒng),能夠實現(xiàn)自動對焦、掃描和數據采集,提高實驗效率。
8. **適用范圍廣泛**:真空探針臺不僅可用于半導體行業(yè),還可廣泛應用于材料測試、納米技術、生物傳感器等多個領域。
總體而言,真空探針臺是進行精細化電氣測試的重要工具,其特性使其在科研和工業(yè)應用中具有的地位。

同軸真空饋通件是一種用于信號傳輸的元件,主要的功能包括:
1. **信號傳輸**:用于在真空環(huán)境中傳輸或微波信號,確保信號的有效傳遞。
2. **隔離真空和常規(guī)環(huán)境**:通過密封設計,能夠在真空環(huán)境下工作,避免外界環(huán)境對設備的影響,保護信號傳輸的穩(wěn)定性。
3. **低損耗**:設計優(yōu)化以減少信號在傳輸過程中的損耗,確保信號的質量。
4. **相位穩(wěn)定性**:在不同溫度和真空條件下,保持信號的相位穩(wěn)定性。
5. **適應性**:可以和不同類型的同軸電纜和連接器兼容,適應多種不同的應用場合。
6. **性能**:能在率下正常工作,通常用于、通訊、測試設備等設備中。
同軸真空饋通件廣泛應用于科學實驗、微波技術、衛(wèi)星通訊、粒子加速器等領域,能夠滿足信號在特殊環(huán)境下的傳輸需求。

探針夾具是一種用于電子測量和測試的工具,廣泛應用于半導體行業(yè)、電子元件測試和電路板維修等領域。它的主要特點包括:
1. **性**:探針夾具能夠以極高的精度對接觸點施加壓力,以確??煽康碾姎饨佑|,從而提高測試數據的準確性。
2. **多功能性**:不同類型的探針夾具可以適配測試需求,包括不同類型的探針和接觸方式,滿足不同的測試標準。
3. **可靠性**:的設計和材料選擇使得探針夾具在多次使用中保持穩(wěn)定的性能,降低故障率,提高測試的可靠性。
4. **靈活性**:探針夾具通常具有可調節(jié)的結構,可以適應不同尺寸和形狀的被測物體,增強了使用的靈活性。
5. **易于操作**:設計時考慮到人機工程學,使得操作者能夠方便地進行裝配、調節(jié)和操作,減少了使用時的復雜性。
6. **兼容性**:探針夾具可以與多種測試設備(如示波器、萬用表等)兼容使用,提升測試系統(tǒng)的集成度。
7. **耐用性**:量的材料和精密的制造工藝確保了探針夾具的耐用性,在率使用的環(huán)境下仍能保持良好的性能。
8. **熱穩(wěn)定性**:一些探針夾具設計考慮到了熱膨脹的影響,保證在溫度變化下仍能提供穩(wěn)定的測試性能。
總之,探針夾具在電子測試和測量中扮演著重要角色,通過其優(yōu)良的設計和性能特征,能夠顯著提高測試效率和可靠性。

探針臺(Probe Station)是一種用于測試和分析微電子器件(如集成電路、傳感器等)的設備。其主要特點包括:
1. **高精度定位**:探針臺能夠定位待測樣品,通常配備精密機械手臂和高分辨率的光學顯微鏡。
2. **多樣化探針**:探針臺配備多種探針,可以用于不同類型的測試,如直流、交流或測試。
3. **溫控能力**:許多探針臺具備溫度控制功能,可以在極低或極高的溫度條件下進行測試,以模擬實際工作環(huán)境。
4. **可擴展性**:探針臺通常可以與其他測試設備(如示波器、信號發(fā)生器)進行連接,實現(xiàn)更復雜的測試方案。
5. **軟件控制**:現(xiàn)代探針臺配備了計算機控制系統(tǒng),可以通過軟件進行操作,實時收集和分析測試數據。
6. **兼容性**:探針臺可以處理多種尺寸和形狀的樣品,包括晶圓、芯片和其他微電子器件。
7. **環(huán)境監(jiān)控**:一些探針臺具有氣候控制系統(tǒng),可以在潔凈室或受控環(huán)境中進行測試,確保測試結果的可靠性。
這些特點使得探針臺在半導體開發(fā)、質量控制和研究等領域中扮演著重要角色。
探針臺卡盤廣泛應用于半導體行業(yè),尤其是在集成電路(IC)測試和微電子設備的研發(fā)過程中。其適用范圍主要包括以下幾個方面:
1. **半導體測試**:用于對晶圓或封裝好的芯片進行電氣測試,驗證其性能和功能。
2. **光電器件測量**:適用于光電傳感器、激光器等器件的測試,評估其光電性能。
3. **微機電系統(tǒng)(MEMS)**:在MEMS器件的研發(fā)與測試中,探針臺卡盤能夠幫助實現(xiàn)高精度的電氣連接和測試。
4. **材料研究**:用于研究新材料的電學性質,評估其在電子器件中的應用潛力。
5. **教育與研發(fā)**:在實驗室和高等院校中,用于教學和科研活動,幫助學生和研究人員進行基礎實驗和技術開發(fā)。
探針臺卡盤的設計通常強調高精度和可調性,以適應不同尺寸和類型的測試樣品,確保測試結果的準確性和重復性。
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