溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數(shù)量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數(shù)量4(可增加)
探針材質(zhì)紫銅鍍金
測試通道4
載樣臺材質(zhì)及尺寸銀質(zhì),35*35mm(以實際尺寸為準)
冷熱臺尺寸160*150*29mm(以實際尺寸為準)
實驗環(huán)境可抽真空,可充入保護氣氛(氮氣),配水冷接口
探針座位移平臺是一種用于半導體、電子元件以及微機電系統(tǒng)(MEMS)等領域的精密測試和測量設備。它的主要功能是通過移動探針在樣品表面進行高精度的接觸和測試。以下是探針座位移平臺的一些關(guān)鍵特性和功能:
1. **高精度定位**:探針座位移平臺通常配備高分辨率的定位系統(tǒng),可以實現(xiàn)微米級甚至納米級的位移控制。
2. **多軸運動**:大多數(shù)探針座位移平臺支持多軸運動(如X、Y、Z軸),以便在三維空間中靈活移動探針,實現(xiàn)復雜的測量任務。
3. **實時控制**:現(xiàn)代探針座位移平臺通常與計算機軟件相結(jié)合,可以實現(xiàn)實時的控制和數(shù)據(jù)采集,方便操作人員進行實時監(jiān)測和調(diào)整。
4. **穩(wěn)定性**:平臺的設計通常考慮到振動和熱變形等因素,以確保在長時間操作中的穩(wěn)定性和重復性。
5. **自動化能力**:許多探針座位移平臺支持自動化操作,可以與自動測試設備結(jié)合,進行批量測試。
6. **應用廣泛**:探針座位移平臺廣泛應用于電氣測試、失效分析、材料特性評估等領域,能夠有效提高測量效率和準確性。
在選擇探針座位移平臺時,用戶需要考慮其技術(shù)參數(shù)、使用場景以及與現(xiàn)有設備的兼容性等因素。
探針臺卡盤(Probing Station Chuck)在半導體測試和研究中具有重要功能。它的主要功能包括:
1. **樣品固定**:探針臺卡盤能夠穩(wěn)固地固定待測試的半導體芯片或其他樣本,確保在測試過程中樣品不發(fā)生移動。
2. **定位**:通過高精度的微調(diào)機制,卡盤可以實現(xiàn)樣品的定位,以便于探針與樣品上的特定點進行接觸。
3. **溫度控制**:一些的探針臺卡盤配備了溫度控制功能,可以在不同的溫度條件下進行測試,以研究溫度對電性能的影響。
4. **電氣連接**:卡盤通常與探針陣列一起工作,通過探針與樣品接觸,實現(xiàn)電氣信號的傳輸,允許測試電性能參數(shù)。
5. **兼容性**:探針臺卡盤設計通常具有良好的兼容性,可以與不同類型和尺寸的樣本以及探針頭配合使用。
6. **環(huán)境控制**:一些探針臺卡盤具備氣氛控制功能,可以在特定氣氛(如氮氣或真空環(huán)境)中進行測試,以降低氧化和其他環(huán)境影響。
總的來說,探針臺卡盤在半導體研發(fā)和制造過程中扮演著至關(guān)重要的角色,它不僅提高了測試的性,還為研究提供了的實驗條件。

真空探針臺是一種用于微電子和材料科學領域的高精度測試設備,主要用于對半導體wafer、材料樣品的電氣特性進行測量。其特點主要包括:
1. **高真空環(huán)境**:真空探針臺能夠在高真空條件下工作,減少氣體分子對測試過程的干擾,提高測量的準確性和重復性。
2. **高精度定位**:該設備通常配備高精度的定位系統(tǒng),可以對準探針與樣品的接觸點,確保測量的準確性。
3. **多樣化探針選擇**:真空探針臺支持多種類型的探針,可根據(jù)不同的實驗需求進行更換,適應不同的測試任務。
4. **溫度控制功能**:許多真空探針臺配備了溫度控制系統(tǒng),能夠在特定溫度下進行測量,對于研究材料的溫度依賴特性尤為重要。
5. **高靈敏度測量**:在真空條件下,探針臺能夠進行更高靈敏度的電氣測量,適合于低信號的測量任務。
6. **兼容性強**:真空探針臺通常可以與多種測試設備協(xié)同使用,如網(wǎng)絡分析儀、示波器等,滿足多種測試需求。
7. **自動化程度**:現(xiàn)代真空探針臺往往具備自動化控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)自動對焦、掃描和數(shù)據(jù)采集,提高實驗效率。
8. **適用范圍廣泛**:真空探針臺不僅可用于半導體行業(yè),還可廣泛應用于材料測試、納米技術(shù)、生物傳感器等多個領域。
總體而言,真空探針臺是進行精細化電氣測試的重要工具,其特性使其在科研和工業(yè)應用中具有的地位。

高低溫真空探針臺是一種用于材料和半導體器件測試的精密設備,其特點包括:
1. **溫度范圍廣**:能夠在極低溫(例如液氮溫度)到高溫(例如700℃以上)之間進行測試,適用于不同材料和器件的特性分析。
2. **真空環(huán)境**:提供高真空或真空環(huán)境,減少氧化和污染,提高測試數(shù)據(jù)的準確性和重復性。
3. **高精度探針**:配備高精度的探針,可以對微小區(qū)域進行測量,適用于微電子器件和納米材料的測試。
4. **自動化設置**:許多高低溫真空探針臺配備自動化控制系統(tǒng),可以實現(xiàn)溫度和壓力的準確控制,提高測試效率。
5. **多功能性**:支持多種測試方法,如電學測試、熱學測試、光學測試等,適用于不同類型的材料和器件。
6. **良好的熱管理**:采用的熱傳導和絕熱技術(shù),確保在高低溫環(huán)境中設備的穩(wěn)定性和測試的可靠性。
7. **數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)**:配備的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng),能夠?qū)崟r監(jiān)控和記錄測試數(shù)據(jù),方便后續(xù)分析。
8. **模組化設計**:很多探針臺采用模組化設計,用戶可以根據(jù)需要更換不同的探針或附件,提高設備的靈活性。
這些特點使得高低溫真空探針臺在材料科學、半導體研發(fā)及微電子器件測試等領域中被廣泛應用。

探針臺(Probe Station)是一種用于半導體和微電子測試的設備,主要用于在實驗室環(huán)境中對芯片或材料進行電學性能測試。它的主要功能包括:
1. **電氣測試**:探針臺配備有探針,可以直接接觸到芯片上的電氣接點,進行電性能測試,比如電流、電壓、阻抗等。
2. **溫度控制**:許多探針臺具有溫度控制功能,可以在高溫或低溫下進行測試,以評估材料或器件在不同溫度下的特性。
3. **真空環(huán)境**:某些探針臺可以在真空環(huán)境下操作,以減少空氣對測試結(jié)果的影響,尤其是在某些敏感實驗中。
4. **圖像捕捉與分析**:探針臺通常配備有顯微鏡,可以對芯片進行觀察,幫助技術(shù)人員準確定位探針和分析測試結(jié)果。
5. **自動化測試**:一些探針臺能夠與計算機系統(tǒng)配合,實現(xiàn)自動化操作和數(shù)據(jù)采集,提高測試效率和準確性。
6. **多功能擴展**:探針臺可以與其他設備(如信號發(fā)生器、示波器等)聯(lián)動,進行更復雜的電氣測試和分析。
探針臺廣泛應用于半導體制造、材料科學、電子工程等領域,是研究和開發(fā)新型電子元件的重要工具。
真空探針臺是一種用于半導體、微電子和納米技術(shù)等領域的高精度測試設備,適用于以下幾個方面:
1. **半導體測試**:用于對集成電路(IC)、功率器件、傳感器等半導體器件進行電性能測試,包括IV曲線測量、CV特性測試等。
2. **材料科學**:用于研究和測試薄膜材料、納米材料等在不同環(huán)境下的電學特性。
3. **微機電系統(tǒng)(MEMS)**:對MEMS器件進行電氣測試和性能評估,尤其是在真空環(huán)境下進行的測試。
4. **封裝測試**:用于對芯片封裝后進行的性能測試,確保封裝過程影響芯片性能。
5. **研發(fā)和實驗室應用**:研究機構(gòu)和高??梢岳谜婵仗结樑_進行實驗室研究,進行新材料和器件的開發(fā)。
6. **測試**:一些應用中,真空環(huán)境可以減少信號衰減和噪聲,適合微波器件和電路的測試。
真空探針臺能夠提供穩(wěn)定的測試環(huán)境和高精度的測量,有助于研究人員和工程師獲取準確的數(shù)據(jù)和結(jié)果。
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