溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數(shù)量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數(shù)量4(可增加)
探針材質(zhì)紫銅鍍金
測(cè)試通道4
載樣臺(tái)材質(zhì)及尺寸銀質(zhì),35*35mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
冷熱臺(tái)尺寸160*150*29mm(以實(shí)際尺寸為準(zhǔn))
實(shí)驗(yàn)環(huán)境可抽真空,可充入保護(hù)氣氛(氮?dú)猓?,配水冷接?/span>
高低溫真空探針臺(tái)是一種用于半導(dǎo)體器件測(cè)試和研究的設(shè)備,它可以在高溫或低溫環(huán)境下進(jìn)行測(cè)量,同時(shí)具備真空操作的功能。這種設(shè)備通常用于材料科學(xué)、電子學(xué)、物理學(xué)等領(lǐng)域,特別是在半導(dǎo)體、納米材料和器件特性測(cè)試方面。
高低溫真空探針臺(tái)的主要功能和特點(diǎn)包括:
1. **溫度控制**:能夠?qū)y(cè)試樣品的溫度控制在很廣泛的范圍內(nèi),通常從液氮溫度(約-196℃)到幾百攝氏度的高溫。
2. **真空環(huán)境**:設(shè)備能夠在真空條件下工作,減少氣體對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,從而提高測(cè)量的度。
3. **電氣測(cè)量**:探針臺(tái)配備有精密的探針,可以對(duì)樣品進(jìn)行電氣測(cè)量,例如測(cè)量電流、電壓和電阻等參數(shù)。
4. **樣品對(duì)接**:探針臺(tái)通常設(shè)計(jì)有靈活的樣品支架,能夠適應(yīng)不同形狀和尺寸的樣品。
5. **自動(dòng)化和數(shù)據(jù)采集**:許多現(xiàn)代探針臺(tái)配備計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量和數(shù)據(jù)采集,提高測(cè)試的效率和 reproducibility(可重復(fù)性)。
高低溫真空探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于研究和開(kāi)發(fā)新型電子器件、材料特性分析以及故障分析等領(lǐng)域。它們?cè)陔娮雍凸怆娦袠I(yè)的研發(fā)中扮演著重要角色。
探針夾具是一種用于電子測(cè)量和測(cè)試的工具,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)、電子元件測(cè)試和電路板維修等領(lǐng)域。它的主要特點(diǎn)包括:
1. **性**:探針夾具能夠以極高的精度對(duì)接觸點(diǎn)施加壓力,以確保可靠的電氣接觸,從而提高測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。
2. **多功能性**:不同類(lèi)型的探針夾具可以適配測(cè)試需求,包括不同類(lèi)型的探針和接觸方式,滿(mǎn)足不同的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)。
3. **可靠性**:的設(shè)計(jì)和材料選擇使得探針夾具在多次使用中保持穩(wěn)定的性能,降低故障率,提高測(cè)試的可靠性。
4. **靈活性**:探針夾具通常具有可調(diào)節(jié)的結(jié)構(gòu),可以適應(yīng)不同尺寸和形狀的被測(cè)物體,增強(qiáng)了使用的靈活性。
5. **易于操作**:設(shè)計(jì)時(shí)考慮到人機(jī)工程學(xué),使得操作者能夠方便地進(jìn)行裝配、調(diào)節(jié)和操作,減少了使用時(shí)的復(fù)雜性。
6. **兼容性**:探針夾具可以與多種測(cè)試設(shè)備(如示波器、萬(wàn)用表等)兼容使用,提升測(cè)試系統(tǒng)的集成度。
7. **耐用性**:量的材料和精密的制造工藝確保了探針夾具的耐用性,在率使用的環(huán)境下仍能保持良好的性能。
8. **熱穩(wěn)定性**:一些探針夾具設(shè)計(jì)考慮到了熱膨脹的影響,保證在溫度變化下仍能提供穩(wěn)定的測(cè)試性能。
總之,探針夾具在電子測(cè)試和測(cè)量中扮演著重要角色,通過(guò)其優(yōu)良的設(shè)計(jì)和性能特征,能夠顯著提高測(cè)試效率和可靠性。

真空探針臺(tái)是一種用于微電子和材料科學(xué)領(lǐng)域的高精度測(cè)試設(shè)備,主要用于對(duì)半導(dǎo)體wafer、材料樣品的電氣特性進(jìn)行測(cè)量。其特點(diǎn)主要包括:
1. **高真空環(huán)境**:真空探針臺(tái)能夠在高真空條件下工作,減少氣體分子對(duì)測(cè)試過(guò)程的干擾,提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
2. **高精度定位**:該設(shè)備通常配備高精度的定位系統(tǒng),可以對(duì)準(zhǔn)探針與樣品的接觸點(diǎn),確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。
3. **多樣化探針選擇**:真空探針臺(tái)支持多種類(lèi)型的探針,可根據(jù)不同的實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行更換,適應(yīng)不同的測(cè)試任務(wù)。
4. **溫度控制功能**:許多真空探針臺(tái)配備了溫度控制系統(tǒng),能夠在特定溫度下進(jìn)行測(cè)量,對(duì)于研究材料的溫度依賴(lài)特性尤為重要。
5. **高靈敏度測(cè)量**:在真空條件下,探針臺(tái)能夠進(jìn)行更高靈敏度的電氣測(cè)量,適合于低信號(hào)的測(cè)量任務(wù)。
6. **兼容性強(qiáng)**:真空探針臺(tái)通??梢耘c多種測(cè)試設(shè)備協(xié)同使用,如網(wǎng)絡(luò)分析儀、示波器等,滿(mǎn)足多種測(cè)試需求。
7. **自動(dòng)化程度**:現(xiàn)代真空探針臺(tái)往往具備自動(dòng)化控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)對(duì)焦、掃描和數(shù)據(jù)采集,提高實(shí)驗(yàn)效率。
8. **適用范圍廣泛**:真空探針臺(tái)不僅可用于半導(dǎo)體行業(yè),還可廣泛應(yīng)用于材料測(cè)試、納米技術(shù)、生物傳感器等多個(gè)領(lǐng)域。
總體而言,真空探針臺(tái)是進(jìn)行精細(xì)化電氣測(cè)試的重要工具,其特性使其在科研和工業(yè)應(yīng)用中具有的地位。

微型高低溫真空探針臺(tái)是一種用于電子材料和器件測(cè)試的精密儀器,具備以下幾個(gè)主要特點(diǎn):
1. **高低溫測(cè)試能力**:能夠在極低溫(如液氮溫度)到高溫(如400°C以上)范圍內(nèi)進(jìn)行測(cè)試,適用于不同溫度環(huán)境下的材料性能研究。
2. **真空環(huán)境**:探針臺(tái)設(shè)計(jì)用于在高真空條件下操作,減少氧化和污染,確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和重復(fù)性。
3. **高精度探測(cè)**:配備高精度的探針和測(cè)量系統(tǒng),能夠準(zhǔn)確獲取微小電流、電壓等信號(hào),適用于微小尺度器件的電測(cè)量。
4. **微型化設(shè)計(jì)**:體積小巧,便于在有限空間內(nèi)進(jìn)行操作,適合于微電子器件、納米材料等研究。
5. **靈活的樣品裝配**:通常具有友好的樣品夾具設(shè)計(jì),便于不同類(lèi)型和尺寸的樣品裝配和更換。
6. **多功能性**:可能支持多種測(cè)試模式,如直流測(cè)試、交流測(cè)試、霍爾效應(yīng)測(cè)試等,適用范圍廣。
7. **易于連接**:可與其他測(cè)試設(shè)備(如示波器、信號(hào)發(fā)生器等)快速連接,便于進(jìn)行綜合測(cè)試。
總之,微型高低溫真空探針臺(tái)在材料科學(xué)、半導(dǎo)體研究和納米技術(shù)等領(lǐng)域中具有重要的應(yīng)用價(jià)值。

探針座位移平臺(tái)是一種用于精密測(cè)試和測(cè)量的設(shè)備,常用于半導(dǎo)體、光電子和精密制造等領(lǐng)域。其主要特點(diǎn)包括:
1. **高精度**:探針座位移平臺(tái)能夠在微米甚至納米級(jí)別進(jìn)行高精度的位置控制,以確保測(cè)量的準(zhǔn)確性。
2. **多軸運(yùn)動(dòng)**:許多探針座位移平臺(tái)設(shè)計(jì)為多軸系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)X、Y、Z三個(gè)維度的立移動(dòng),以適應(yīng)復(fù)雜的測(cè)量需求。
3. **穩(wěn)定性**:平臺(tái)結(jié)構(gòu)通常經(jīng)過(guò)優(yōu)化設(shè)計(jì),以提供高度的機(jī)械穩(wěn)定性,減少外部震動(dòng)對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。
4. **自動(dòng)化控制**:現(xiàn)代探針座位移平臺(tái)通常配備計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng),支持自動(dòng)化操作和數(shù)據(jù)采集,提高工作效率。
5. **兼容性強(qiáng)**:探針座可以與多種探針、傳感器和測(cè)量設(shè)備相結(jié)合,提供靈活的應(yīng)用方案。
6. **快速響應(yīng)**:的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)使得平臺(tái)能夠快速響應(yīng)控制指令,實(shí)現(xiàn)快速定位和測(cè)量。
7. **易于操作**:許多平臺(tái)設(shè)有用戶(hù)友好的界面,使操作人員能夠輕松進(jìn)行設(shè)置和調(diào)整。
8. **可調(diào)節(jié)性**:探針座位移平臺(tái)通常允許用戶(hù)根據(jù)特定需求來(lái)調(diào)整工作參數(shù),例如探針的接觸力、移動(dòng)速度等。
這些特點(diǎn)使得探針座位移平臺(tái)在電子元器件測(cè)試、材料分析和微型裝配等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。
真空探針臺(tái)是一種用于半導(dǎo)體、微電子和納米技術(shù)等領(lǐng)域的高精度測(cè)試設(shè)備,適用于以下幾個(gè)方面:
1. **半導(dǎo)體測(cè)試**:用于對(duì)集成電路(IC)、功率器件、傳感器等半導(dǎo)體器件進(jìn)行電性能測(cè)試,包括IV曲線測(cè)量、CV特性測(cè)試等。
2. **材料科學(xué)**:用于研究和測(cè)試薄膜材料、納米材料等在不同環(huán)境下的電學(xué)特性。
3. **微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)**:對(duì)MEMS器件進(jìn)行電氣測(cè)試和性能評(píng)估,尤其是在真空環(huán)境下進(jìn)行的測(cè)試。
4. **封裝測(cè)試**:用于對(duì)芯片封裝后進(jìn)行的性能測(cè)試,確保封裝過(guò)程影響芯片性能。
5. **研發(fā)和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用**:研究機(jī)構(gòu)和高校可以利用真空探針臺(tái)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室研究,進(jìn)行新材料和器件的開(kāi)發(fā)。
6. **測(cè)試**:一些應(yīng)用中,真空環(huán)境可以減少信號(hào)衰減和噪聲,適合微波器件和電路的測(cè)試。
真空探針臺(tái)能夠提供穩(wěn)定的測(cè)試環(huán)境和高精度的測(cè)量,有助于研究人員和工程師獲取準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)和結(jié)果。
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