溫度范圍零下180~550℃
變溫速度0~10℃/min,升降溫線性可控
溫度分辨率及穩(wěn)定性± 0.1℃
控溫方式PID
溫度傳感器PT100
溫度傳感器數(shù)量2
致冷方式液氮(泵控制)
探針數(shù)量4(可增加)
探針材質(zhì)紫銅鍍金
測試通道4
載樣臺材質(zhì)及尺寸銀質(zhì),35*35mm(以實際尺寸為準)
冷熱臺尺寸160*150*29mm(以實際尺寸為準)
實驗環(huán)境可抽真空,可充入保護氣氛(氮氣),配水冷接口
真空探針臺是一種用于微電子器件測試和特性分析的設備,廣泛應用于半導體研究和研發(fā)領域。它的主要功能是將探針對準被測試樣品,同時在真空環(huán)境下進行的電氣測試。
真空探針臺的工作原理是通過在高真空狀態(tài)下,將探針與芯片或其他樣品直接接觸,以測量其電氣特性。在真空環(huán)境中,能夠減少空氣干擾,降低氧化和污染的風險,從而提供更準確和重復的測試結果。
主要用途包括:
1. **半導體器件的特性測試**:如 MOSFET、二極管等。
2. **材料研究**:在材料科學中,對特定材料的電性和熱性進行研究。
3. **微納米技術的研發(fā)**:在 MEMS(微電機械系統(tǒng))和納米尺度器件的開發(fā)和測試中。
真空探針臺通常配備高精度的定位系統(tǒng),以確保探針能夠準確地對準待測樣品,此外,有些設備還可與其他測試儀器(如示波器、源測量單元等)集成,以實現(xiàn)更復雜的測試需求。
高低溫真空探針臺是一種用于材料和半導體器件測試的設備,能夠在極端溫度和真空環(huán)境下進行電氣特性測量。其主要功能包括:
1. **溫度控制**:能夠在廣泛的溫度范圍內(nèi)(通常從低于零度到幾百度攝氏)控制樣品的溫度,便于研究材料在不同溫度下的性能變化。
2. **真空環(huán)境**:提供低壓真空環(huán)境,以減少氣體分子對測量結果的影響,尤其是在材料表面或界面反應的研究中。
3. **電氣測試**:可以連接測試儀器(如示波器、源測量單元等)進行電流、電壓等電學特性的測量。
4. **多種探針配置**:可以靈活配置探針的數(shù)量和類型,以適應不同的實驗需求,如單點探測或多點測量。
5. **樣品放置**:支持多種類型的樣品放置方式,如晶圓、薄膜、納米結構等,以開展多樣化的實驗。
6. **數(shù)據(jù)采集與分析**:配合相關軟件,可以進行實時數(shù)據(jù)采集和后續(xù)分析,幫助科研人員深入理解材料性能。
高低溫真空探針臺廣泛應用于半導體、物理、材料科學等領域的研究和開發(fā)中,尤其是在新材料的開發(fā)和半導體器件的性能測試方面具有重要意義。

探針臺卡盤(Probing Station Chuck)在半導體測試和研究中具有重要功能。它的主要功能包括:
1. **樣品固定**:探針臺卡盤能夠穩(wěn)固地固定待測試的半導體芯片或其他樣本,確保在測試過程中樣品不發(fā)生移動。
2. **定位**:通過高精度的微調(diào)機制,卡盤可以實現(xiàn)樣品的定位,以便于探針與樣品上的特定點進行接觸。
3. **溫度控制**:一些的探針臺卡盤配備了溫度控制功能,可以在不同的溫度條件下進行測試,以研究溫度對電性能的影響。
4. **電氣連接**:卡盤通常與探針陣列一起工作,通過探針與樣品接觸,實現(xiàn)電氣信號的傳輸,允許測試電性能參數(shù)。
5. **兼容性**:探針臺卡盤設計通常具有良好的兼容性,可以與不同類型和尺寸的樣本以及探針頭配合使用。
6. **環(huán)境控制**:一些探針臺卡盤具備氣氛控制功能,可以在特定氣氛(如氮氣或真空環(huán)境)中進行測試,以降低氧化和其他環(huán)境影響。
總的來說,探針臺卡盤在半導體研發(fā)和制造過程中扮演著至關重要的角色,它不僅提高了測試的性,還為研究提供了的實驗條件。

高低溫真空探針臺是一種用于材料和半導體器件測試的精密設備,其特點包括:
1. **溫度范圍廣**:能夠在極低溫(例如液氮溫度)到高溫(例如700℃以上)之間進行測試,適用于不同材料和器件的特性分析。
2. **真空環(huán)境**:提供高真空或真空環(huán)境,減少氧化和污染,提高測試數(shù)據(jù)的準確性和重復性。
3. **高精度探針**:配備高精度的探針,可以對微小區(qū)域進行測量,適用于微電子器件和納米材料的測試。
4. **自動化設置**:許多高低溫真空探針臺配備自動化控制系統(tǒng),可以實現(xiàn)溫度和壓力的準確控制,提高測試效率。
5. **多功能性**:支持多種測試方法,如電學測試、熱學測試、光學測試等,適用于不同類型的材料和器件。
6. **良好的熱管理**:采用的熱傳導和絕熱技術,確保在高低溫環(huán)境中設備的穩(wěn)定性和測試的可靠性。
7. **數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)**:配備的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng),能夠?qū)崟r監(jiān)控和記錄測試數(shù)據(jù),方便后續(xù)分析。
8. **模組化設計**:很多探針臺采用模組化設計,用戶可以根據(jù)需要更換不同的探針或附件,提高設備的靈活性。
這些特點使得高低溫真空探針臺在材料科學、半導體研發(fā)及微電子器件測試等領域中被廣泛應用。

真空探針臺是一種用于微電子和材料科學領域的高精度測試設備,主要用于對半導體wafer、材料樣品的電氣特性進行測量。其特點主要包括:
1. **高真空環(huán)境**:真空探針臺能夠在高真空條件下工作,減少氣體分子對測試過程的干擾,提高測量的準確性和重復性。
2. **高精度定位**:該設備通常配備高精度的定位系統(tǒng),可以對準探針與樣品的接觸點,確保測量的準確性。
3. **多樣化探針選擇**:真空探針臺支持多種類型的探針,可根據(jù)不同的實驗需求進行更換,適應不同的測試任務。
4. **溫度控制功能**:許多真空探針臺配備了溫度控制系統(tǒng),能夠在特定溫度下進行測量,對于研究材料的溫度依賴特性尤為重要。
5. **高靈敏度測量**:在真空條件下,探針臺能夠進行更高靈敏度的電氣測量,適合于低信號的測量任務。
6. **兼容性強**:真空探針臺通??梢耘c多種測試設備協(xié)同使用,如網(wǎng)絡分析儀、示波器等,滿足多種測試需求。
7. **自動化程度**:現(xiàn)代真空探針臺往往具備自動化控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)自動對焦、掃描和數(shù)據(jù)采集,提高實驗效率。
8. **適用范圍廣泛**:真空探針臺不僅可用于半導體行業(yè),還可廣泛應用于材料測試、納米技術、生物傳感器等多個領域。
總體而言,真空探針臺是進行精細化電氣測試的重要工具,其特性使其在科研和工業(yè)應用中具有的地位。
同軸真空饋通件廣泛應用于許多領域,主要包括:
1. **微波通信**:在衛(wèi)星通信、無線傳輸?shù)阮I域中,用于傳輸信號。
2. **射頻功率放大**:在射頻(RF)放大器中,幫助傳輸和采集高功率信號。
3. **天線系統(tǒng)**:在天線和發(fā)射器中,用于信號傳輸。
4. **高能物理實驗**:在粒子加速器等實驗設備中,用于傳輸信號。
5. **實驗室設備**:在實驗室中用于設備的連接和信號傳輸。
6. **系統(tǒng)**:用于和民用系統(tǒng)中進行信號傳遞。
7. **設備**:在某些醫(yī)學成像和設備中也會用到。
同軸真空饋通件的設計需要考慮頻率范圍、功率處理能力、插入損耗以及物理尺寸等因素,以確保其在特定應用中的性能和可靠性。
http://www.600pd.com